晶圆上有什么?晶圆的组成与结构详解晶圆(Wafer)作为半导体制造的核心基础材料,其表面结构直接决定了芯片的性能和功能。我们这篇文章将系统解析晶圆的组成元素,包括基础材料与晶圆制备;光刻图案与电路结构;薄膜层与介电材料;金属互联与接触孔;...
04-261晶圆组成半导体制造晶圆结构